浅谈电子厂无尘净化车间的特点及参数
发布者:翼展净化工程公司浏览次数:发布时间:2022-07-29
电子厂净化车间的特点:
电子厂净化车间等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外电子厂净化车间对静电要求相当严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内容易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂净化车间的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。 这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子厂净化车间的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
我们举例拿杭州兆奕科技电子厂无尘车间为例:就要求做到十万级无尘车间恒温恒湿的特殊要求,既可以保障产品质量又可以防止静电,还可以让人员有个较好的环境下作业,如图所示:
电子厂无尘车间 I EPURZAN翼展
电子厂无尘车间参数:
1、万级电子厂无尘车间内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)。
2、电子厂无尘车间垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
3、电子厂无尘车间与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。
4、电子厂无尘车间内的新鲜空气量应取下列二项中的较大值:
(1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
(2)保证供给电子厂净化车间内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
(3)电子厂净化车间净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项较大值:保证净化车间空气洁净度等级的送风量;根据热,湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量;向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量。
5、电子厂无尘车间对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净服不产生舒适感为宜,温度一般控制在秋冬季20~22℃;春夏季24~26℃;波动±2℃。秋冬季洁净车间空气湿度控制在30-50%,春夏季洁净车间空气湿度控制在50-70%。
6、配电:洁净室(区)的主要生产用地一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员洁净和物料洁净用室、气闸室、过道等的照度值宜为200~300Lx。