洁净室不锈钢管的施工安装要求
发布者：翼展净化工程公司浏览次数：发布时间：2022-09-15
(1） 基本要求
电化学抛光不锈钢管 (electro polished pipe•EP管）、光亮退火不锈钢管 (brighe annealing pipe， BA 管），在高纯气体、特种气休、高纯化学品输送中的应用及特点进行了叙述。在国家标准《洁净厂房施工及质量验收规范（GB 51110）中对BAVEP 不锈钢管道的安装有如下要求。
① BA/EP 不锈钢管的预制、安装作业应在洁净工作小室内进行。
②作业人员应经培训合格后上岗，作业时应着洁净工作服、手套。
③ 管子、管件和网门在预制、安装前后或停顿工作时，应以洁净塑料袋封口，袋破损，应及时检查、处理。
④切割管子直径等于或小于 10mm 时，宜采用割管器；直径大于 10mm 时，宜采用专用电锯。切割后应以纯度为 99.999％的纯氩吹净管内切口的杂物、灰尘，并应去除油污。
⑤ BA/EP 管道的连接宜采用卡套连接、法兰连接或焊接。BA/EP 管的焊接应采用自动焊，焊接时管内应充纯度为 99.999％的纯氩气。焊接结束后应继线充纯氩吹扫、冷却。
⑥ BA/EP 管的焊接应正确选择电极棒（钨棒）规格和焊接工艺参数。焊接前应按施工要求做出样品，并应在检验合格后施焊。当改变焊接参数时，应按施工要求做样品，并应在检验合格后再进行焊接作业。BA/EP 管材、管件、阀门组对时，应做到内、外壁平整，对口错边不得超过壁厚的 10%，且不得大于 0.2mm。每焊接完成一个焊口，均应采用不锈钢刷及时清除表面氧化层。焊缝形态应均匀，不得有未焊透、未融合、气孔、咬边等缺陷。BA/EP 管及管件、阅门的内、外表面应无尘、无油，表面应平整，且不得有破损、氧化现象。BA/EP 管道连接用垫片的材质应符合设计要求或由设备、附件配带，安装前应确认垫片洁净无油、无污染物。BA/EP 管道的安装应按工程设计图顺气流方向依次进行，并应连续充纯金吹扫、保护，管内纯氩的压力应大于0.15MPa，并应直至管路系统安装结束。工程实践表明，由于BA 不锈钢管的应用在洁净厂房中日渐增多，因此对于较大管径如 DN>150 采用手工氩保护焊。
（2）Ep管材及附件的选择
①不锈钢电化学拋光管（EP 管）、不锈钢光亮退火管 （BA管）的特点和在高纯气体、特和气体输送中的应用。为确保 EP 不锈钢管的施工安装质量，必须正确选择 EP 不锈钢管及其附什、阔门等。目前国内外用作不锈钢 EP 管、BA管的材质有 sUS304、sUS316、SUS316L, 等，在微电子半导体工业中常用的 EP 管均为无缝SUS316L 管，根据不同标准，各个制造厂家生产的 3161 不锈钢 EP 管的规格参数是不同的，与之相适应的管道用阀门/接头也均不相同，所以在选购 3161 不锈钢 EP 管及其附件、阀门时应仔细了解供货单位提供的技术资料，并与设计方、业主进行讨论、协调，得到它们的确认。
②对于半导体工业洁净厂房来说，十分重要的是控制 EP管的内表面粗糙度，而不是外观光亮。不锈钢管的抛光方法，常用的有电化学拋光、特殊研磨抛光、亚电化学抛光、光亮退火地光、羽布抛光等。采用羽布拋光的不锈钢管内外表面看似很“亮”，但其内表粗糙度却不能满足要求，只能用于装饰用不锈钢管
③与 EP管配用的阀门应按设计要求订购，一般与 EP管配用的阀门为材质相当的隔膜网、波纹管网；选购时应与所选用不锈钢 EP 管的规格尺寸相符，否则将影响连接质量。
④316L不锈钢 EP管的连接一般采用焊接或 VCR 接头连接时，也同样应认真检查核实是否与 EP 管材的规格尺寸相符，订购时应配全 VCR 接头的全部零部件（包括垫片、管接头等)。对于不锈钢 EP 管用网门、附件应选用满足 EP 管洁净要求的产品，并在产品检验单（合格证书） 明确标明
